Рассмотрены функциональные элементы и устройства на поверхностных акустических волнах для радиотехнических применении. Конспективно
изложены физические основы возбуждения и рас простраиеиия поверхностных
акустических волн
(ПАВ) в твердом теле Приведена функциональная классификация, в рамках
которой рассмотрены характерные конструкции ПАВ элементов и устройств
различного назначения. Основное внимание уделено техническим
решениям, относящим ся к структурной реализации функциональных элементов
и устройств на ПАВ Анализируются специфические особенности технологии
изготовления элементов и устройств на ПАВ в отличие от Планерной
технологии интегральных схем Обобщен значительный объем зарубежной
научно-техннческой и патентной информации. Книга предназначена для
широкого круга специалистов, занятых разработкой радиоэлектронной
аппаратуры различного назначения а также может быть полезна аспирантам и
студентам старших курсов радиотехнических вузов.
ОГЛАВЛЕНИЕ: Предисловие
Введение
Глава 1. Преобразователи поверхностных акустических волн 1.1. Физические основы распространения упругих поверхностных волн в твердом теле
1.2. Преобразователи ПАВ, использующие трансформацию объемных акустических волн
1.3. Электродные преобразователи ПАВ
1.4. Модификации
электродных
преобразователей ПАВ Гла в а
2. Элементы акустического тракта 2.1. Переизлучатели
поверхностных
акустических волн 2.2. Отражательные структуры 2.3. Акустические волноводы Глава 3. Линии задержки электрических сигналов 3.1. Линии с фиксированной задержкой
3.2. Линии с регулируемой задержкой 3.3. Многоотводные линии задержки
3.4. Дисперсионные линии задержки
Глава 4. Полосовые фильтры и резонаторы 4.1. Конструкции фильтров ПАВ 4.2. Методы аподизации преобразователей ПАВ 4.3. Уменьшение нежелательных сигналов 4.4. Телевизионные фильтры на ПАВ 4.5. Резонаторы на ПАВ Глава 5. Прочие элементы тракта обработки сигналов 5.1. Акустические трансформаторы 5.2. Разветвители и сумматоры сигналов 5.3. Акустические фазовращатели 5.4. Акустические аттенюаторы Глава 6. Многофункциональные устройства обработки сигналов 6.1. Согласованные фильтры ФМ и ЧМ сигналов 6.2. Генераторы сигналов на поверхностных акустических волнах (ПАВ-генераторы)
Глава 7. Технология изготовления акустических радиокомпонентов 7.1. Изготовление звукопровода
7.2. Фотолитография 7.3. Изготовление фотошаблона 7.4. Перспективные
методы
литографии 7.5. Изготовление АРК с преобразователями на основе тонких пьезоэлектрических пленок 7.6. Отличительные особенности технологии изготовления АРК от классической планарной технологии интегральных схем. Список литературы
